MEMS微加速度传感器的系统级仿真

System Simulation of MEMS Microaccelerometer

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摘要概述了适用于MEMS系统仿真的几种方法,着重介绍了这些方法的基本思想、缺点,并初步实现了典型叉指电容式微加速度传感器的系统级仿真.

作者刘妤温志渝张流强梁玉前

机构地区重庆大学重庆工学院

出处《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期293-295,共3页 China Mechanical Engineering

基金国家自然科学基金资助项目(10176040) 微米纳米加工技术国家重点实验室基金资助项目(514850202JW2001) 教育部科学技术研究重大项目(0216) 重庆大学MEMS设计联合开放实验室资助项目

关键词 MEMS CAD 微加速度传感器系统级仿真宏模型

分类号 TH824 [机械工程—精密仪器及机械]

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