直接加热终端式MEMS微波功率传感器的设计与模拟
Design and Simulation of Directly Heated Terminated MEMS Microwave Power Sensor
摘要
提出了一种基于GaAs MMIC工艺的MEMS微波功率传感器.根据热电效应设计了一个X波段热偶微波功率传感器的结构,并对其温度分布用COVENTOR系统软件进行模拟,用HFSS对反射系数进行模拟.输入功率0～50mW,灵敏度为0.3V/W.S11约为-15db.
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第z1期313-314,共2页
China Mechanical Engineering
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