多晶硅薄膜太阳能电池的衬底材料和制备工艺
The Substrates and Their Preparation for Polycrystalline Silicon Thin-Film Solar Cell
摘要
研究了太阳能电池的发展历程,详细介绍了多晶硅薄膜太阳能电池的各种工艺,阐述了在实际研究过程中沉积大晶粒多晶硅薄膜的技术路线和工艺,并对多晶硅薄膜太阳能电池的研究趋势做了展望.
出处
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第z1期464-466,共3页
Rare Metal Materials and Engineering
基金
北京市自然科学基金重点项目(2021001)
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