摘要
为了解决弹药武器系统的高温、高压、强冲击振动和紧凑设计条件的测试问题 ,提出了一种以半导体压阻效应、极间电容变化以及PN结温度效应为基本原理的加速度、压力与温度多参数硅微复合传感器 .介绍了复合传感器的工作原理、系统构成以及有限元分析仿真模型 .
A novel multi parameter composite sensor is presented.The design features the principle of semiconductor piezoresistance effect,variable capacitance and PN temperature effect.The system structure is sketched and the finite element analytic model is presented.The SEM photograph and performance parameters of the composite sensor are finally given.
出处
《纳米技术与精密工程》
CAS
CSCD
2004年第1期24-28,共5页
Nanotechnology and Precision Engineering
基金
全国优秀博士学位论文专项基金资助项目 (2 0 0 2 8)
