摘要
推导出一组具有特殊择优取向的各向异性薄膜的椭偏公式,并以光轴沿着薄膜表面及光轴垂直薄膜表面的各向异性薄膜为例,分别在透明和吸收波段进行模拟计算,得到了椭偏谱的基本特征。
A set of ellipsometric equations on anisotropic thin films is deduced,and then ellipsometric spectra are calculated for special orientations with optical axis perpendicular or parallel to the surface. The characteristics of these spectra are analyzed.
出处
《中山大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第6期85-88,共4页
Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni
基金
国家自然科学基金资助项目(50372085)
广东省自然科学基金资助项目(021696)
关键词
椭偏光谱
薄膜
各向异性
spectroscopic ellipsometry
thin film
anisotropy
