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因子分析法在Ta_2O_5/Ta俄歇深度剖析上的应用 被引量:2

APPLICATION OF FACTOR ANALYSIS TO AUGER DEPTH PROFILING OF Ta_2O_5/Ta
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摘要 将一种基于多元统计方法的因子分析法用于俄歇深度剖面分析,采用Ar^+离子轰击Ta_2O_5/Ta样品,俄歇峰采用具有高表面灵敏度和化学态灵敏的NOO俄歇跃迁,用因子分析可得到Ta的三种可区别的不同化学态即Ta、Ta_2O_5和Ta_xO_y,并且能提高探测灵敏度。 Factor analysis of Auger spectra acquired during sputter depth profiling of Ta_2O_5/Ta has been adopted in our laboratory. The results obtained from chemical-state-sensitive Auger NOO transition show that there are three distinguishable components of Ta signal with different chemical states, i. e. , Ta, Ta_2O_5 and Ta_xO_y existed and that the detection limit is also improved.
作者 李敏 张强基
出处 《真空科学与技术》 CSCD 1993年第1期13-20,共8页 Vacuum Science and Technology
基金 国家教委高校博士点基金
关键词 俄歇电子谱法 氧化钽 因子分析 Factor analysis, Statistical method, Auger electron spectroscopy, Depth profile, Chemical states
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