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电子级纯三氟化硼的研制 被引量:5

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摘要 本文介绍了氟硼酸钠热分解(热分解前原料经过纯化处理,并严格控制分解温度)制得纯度大于4N三氟化硼的方法、原理和试验结果。本产品中杂质含量为N_2+O_2<20ppm,SO_2<10ppm,SiF_4<20ppm,SO_4<8ppm,与美国Airco公司同类产品指标相当。该制备工艺流程简单、合理、操作方便、安全可靠、无污染,极适于用量不大但纯度要求很高的生产场合。
作者 朱心才
出处 《低温与特气》 CAS 1985年第3期13-18,共6页 Low Temperature and Specialty Gases
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