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采用巴基管涂层化学气相沉积金刚石 被引量:4

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摘要 关于热丝法气相沉积金刚石的研究已经进行了多年,迟滞这种工艺进一步发展的主要技术障碍是沉积速度低,如何提高热丝法沉积金刚石的速率,成为合成金刚石薄膜领域中的一个迫切需要解决的课题.富勒烯族分子(C_(60),C_(70),巴基管)均是由碳原子构成的大分子.近年来,在能够合成这些分子之后,它们即被用于合成金刚石的研究。
出处 《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第7期597-599,共3页 Chinese Science Bulletin
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  • 相关文献

参考文献1

  • 1吕反修,高技术通讯,1992年,10卷,1页

同被引文献21

引证文献4

二级引证文献15

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