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采用巴基管涂层化学气相沉积金刚石
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摘要
关于热丝法气相沉积金刚石的研究已经进行了多年,迟滞这种工艺进一步发展的主要技术障碍是沉积速度低,如何提高热丝法沉积金刚石的速率,成为合成金刚石薄膜领域中的一个迫切需要解决的课题.富勒烯族分子(C_(60),C_(70),巴基管)均是由碳原子构成的大分子.近年来,在能够合成这些分子之后,它们即被用于合成金刚石的研究。
作者
王克忠
高志栋
李玉宝
陈志清
朱艳秋
梁吉
魏秉庆
吴德海
惠梦君
机构地区
清华大学机械工程系
中国科学院物理研究所
出处
《科学通报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995年第7期597-599,共3页
Chinese Science Bulletin
关键词
热丝法
化学气相沉积
金刚石
富勒烯
薄膜
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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