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微小金属密封容器内气体的质谱分析
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摘要
改进了四极质谱仪(QMS)的进样装置,实现了对微小金属密封容器内所含气体的成分分析,结出了实验结果并进行了讨论.
作者
陈越民
成荣明
张希曾
机构地区
华东师范大学分析测试中心
华东师范大学的理系
出处
《分析仪器》
CAS
1996年第1期58-61,共4页
Analytical Instrumentation
关键词
四极质谱仪
金属密封容器
气体分析
分类号
TH84 [机械工程—精密仪器及机械]
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