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微机电系统及其应用 被引量：7

Technologies and Application of MEMS
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摘要 概述了微机电系统(MEMS)的发展历史及基本技术原理,介绍了MEMS技术在航空航天、医药卫生、光学器件、微能源等方面的应用情况,并对其以后的发展作出展望. This paper summarizes the history and basic principles of MEMS, introduces the application of MEMS and looks at the prospect for the development of MEMS.
作者 史铁林 钟飞 何涛
机构地区 华中科技大学机械科学与工程学院 湖北工业大学机械工程学院
出处 《湖北工业大学学报》 2005年第5期1-5,共5页 Journal of Hubei University of Technology
关键词 微机电系统 IC LIGA micro electro mechanical systems integrated circuits lithogaphie galvanoformung abformung
分类号 TN454 [电子电信—微电子学与固体电子学]
  • 相关文献

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共引文献63

同被引文献69

引证文献7

二级引证文献15

湖北工业大学学报
2005年 第5期

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