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NETWORK6000系统在三氯氢硅装置中的应用

Application of NETWORD6000 in SiHCl3 Equipment
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摘要 介绍了三氯氢硅装置中采用的自动控制技术,以及在实际应用中的具体使用情况。 Autocontrol technology in process of SiHCl3 production,and good effect in realization application were introduce.
作者 张合营
出处 《工业控制计算机》 2006年第7期74-74,共1页 Industrial Control Computer
关键词 配置 自动控制 调节 config ure,automatic control,adjust
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