摘要
介绍了三氯氢硅装置中采用的自动控制技术,以及在实际应用中的具体使用情况。
Autocontrol technology in process of SiHCl3 production,and good effect in realization application were introduce.
出处
《工业控制计算机》
2006年第7期74-74,共1页
Industrial Control Computer
关键词
配置
自动控制
调节
config ure,automatic control,adjust