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化学量传感器
被引量:
1
Chemical Sensors
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摘要
第四讲 离子敏场效应器件 五、以pH-ISFET为基础的ISFET及CHEMFET敏感膜制备工艺 如前所述,在巳制成的Si_3N_4膜pH-ISFET敏感栅上再复盖一层对某种离子或化学物质敏感的介质膜即可制成相应的敏感器件,而且敏感膜是关系到器件灵敏度、选择性、稳定性、重现性等性能优劣的关键。
作者
武世香
虞惇
王贵华
机构地区
哈尔滨工业大学
出处
《传感器技术》
CSCD
1990年第6期53-59,62,共8页
Journal of Transducer Technology
关键词
化学量传感器
传感器
离子敏场器件
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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