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分子泵对Xe气抽速的测试 被引量:5

Xe pumping speed testing for molecular pump
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摘要 在不同Xe气流量下测量了F-400/3500和F-250/1500分子泵对Xe气的抽速,指出分子泵对Xe气的抽速是其对N2抽速的0.6~0.8倍。这一折算系数和泵的型号有关,和泵口真空度也相关。 The Xe Pumping speed of F-250/1500/F-400/3500 molecular pump has been tested at different Xe flowrates. The result indicated that the Xe pumping speed of molecular pump is about 60%-80% of N2 pumping speed. Such a conversion rate bears relations to the model/type of pump and vacuum pressure at pump intake.
机构地区 兰州物理研究所
出处 《真空》 CAS 北大核心 2007年第2期15-17,共3页 Vacuum
关键词 分子泵 抽速 XE molecular pump pumping speed Xe
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参考文献1

  • 1Sarver-Verhey T R. Extended Testing of Ion Thruster Hollow Cathode[R]. AIAA92-3204. 1992.

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引证文献5

二级引证文献15

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