双热臂电热微致动器的温度场分析

对双热臂电热微致动器的温度场分布研究,直接关系到结构参数的设计。分析温度场研究的数学建模,计算温度场的相关参数,研究热对流、电压、电阻率、微致动器与基底之间距离的影响规律。