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聚焦离子束原理及其工业应用 被引量:2

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摘要 FIB是一种将微分析和微加工相结合的新技术,在亚微米级器件的设计领域发挥着非常重要的作用。本文将对聚焦离子束技术原理作一介绍,并对该技术在微电子领域中的应用及发展作一综述。
作者 章壮
机构地区 荆楚理工学院
出处 《内江科技》 2008年第1期119-120,共2页
关键词 FIB 微细加工 应用
  • 相关文献

参考文献1

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同被引文献8

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引证文献2

二级引证文献18

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