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高纯芯片“防腐剂”硅烷将在哈尔滨实现国产化

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摘要 哈尔滨市企业将生产出纯度为99.9999%的电子气体。近日,哈尔滨金烨创业投资中心与南京特种气体有限公司签约,在哈尔滨市建立基地,首次实现硅烷这种能够保证电子芯片、集成电路具有高防腐性电子气体的国产化。
出处 《有机硅氟资讯》 2008年第8期3-3,共1页 Silicone and Fluorine Information
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