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基于质量流量混合法的实时配气系统设计 被引量：8

A Design of Realtime and Dynamic Gas Confection System based on the Method of Mass Flow Mix
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摘要 介绍了一种基于质量流量混合法的实时动态配气系统.该系统采用了高精度的质量流量控制器,可用于配制各种低浓度的标准气体,以满足工业应用和科学研究中标准气体的需求. This paper introduces a reahime and dynamic gas confection system based on the method of mass flow mix .This system applying high precision Mass Flow Controller （MFC） can be used for confecting kinds of low concentration standard gas, to supply standard gas for industry and science research .
作者 王东方 魏庆农 刘世胜 冯巍巍 詹锴
机构地区 中国科学院安徽光学精密机械研究所中国科学院环境光学重点实验室 安徽省环境光学重点实验室
出处 《微计算机信息》 2009年第5期13-14,共2页 Control & Automation
关键词 质量流量混合法 质量流量控制器 配气系统 Method of mass flow mix Mass Flow ControHer（MFC） Gas confection system
分类号 TP271 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
  • 相关文献

参考文献4

二级参考文献14

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引证文献8

二级引证文献23

微计算机信息
2009年 第5期

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