摘要
O484.1 2001021185SnO<sub>2</sub>:Zr薄膜对SO<sub>2</sub>气体的光学气敏特性研究=Opticalsensitive characteristic of SnO<sub>2</sub>:Zr thin filmto SO<sub>2</sub>[刊,中]/汤兆胜,赵强,冯仕猛,范正修（中科院上海光机所薄膜中心.上海（201800））//光子学报.—2000,29（3）.-277-281 采用双靶反应溅射制得SnO<sub>2</sub>:Zr薄膜,并对它作了150℃下SO<sub>2</sub>气敏光学特性试验,首次发现在适当工艺条件下制得的SnO:Zr薄膜在近红外波段（1.7 μm～3μm）对SO<sub>2</sub>气体具有明显的光学气敏特性,在2.65μm附近透过率上升幅度达10%左右。Zr的引入增强了SnO<sub>2</sub>薄膜对SO<sub>2</sub>的吸附能力。用二次离子质谱对吸附SO<sub>2</sub>前后的薄膜作了组分相对含量分析。图7表2参12（李士范）
出处
《中国光学》
EI
CAS
2001年第2期65-66,共2页
Chinese Optics
