利用稀土进行金刚石膜成型加工

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摘要金刚石薄膜是通用的热工艺材料之一,因为它透明、硬度高、热导率高、热膨胀系数低、具有化学惰性且有半导体特性。金刚石膜用化学蒸汽沉积(CVD)工艺制作。然而对于多数用途、沉积后的膜必须加工成要求的形状和厚度。现在使用的大多数技术,如借助于与氧原子或离子的反应进行抛光,或与固态过渡金属进行高温和(或)

作者董群满

出处《稀土信息》 1994年第1期12-12,共1页 Rare Earth Information

关键词金刚石膜成型加工金刚石薄膜工艺材料化学惰性半导体特性固态反应金刚石表面热膨胀系数预成型

分类号 TQ164 [化学工程—高温制品工业]

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