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10^(-10)Pa 溅射离子泵的研制 被引量:2

Research on Sputter Ion Pump With 1010Pa Ultimate Vacuum
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摘要 本文主要介绍10-10Pa溅射离子泵的研制,提高极限真空和抽气速率的方法。 AbstractThis article mainly introduces the research on sputter ion pump with 1010 Pa ultimate vacuum and the means of improving ultimate vacuum and pumping speed.
机构地区 上海真空泵厂
出处 《真空》 CAS 北大核心 1998年第3期11-15,共5页 Vacuum
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