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我国特种气体产业的发展 被引量:2

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摘要 回顾了我国集成电路产业的发展历程,介绍了自“六五”以来电子特种气体攻关和产业化成绩,指出石油化工企业用标准气市场潜力巨大。
作者 梁国仑
出处 《低温与特气》 CAS 1998年第4期1-8,共8页 Low Temperature and Specialty Gases
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