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激光直接写入系统中的光功率稳定控制 被引量:7

Control of Stabilizing the Laser Power in Laser Direct Writting System
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摘要 激光光功率控制对激光加工技术极为重要,本文介绍了在激光直写系统中用于光功率控制的声光调制器件并根据光强稳定度要求分析结出了调制器的结构参数和相关的控制电路。接控制原理及调制器参数设计并实现的声光调制系统获得了好的光强控制效果。受控前He-Cd激光器输出光强稳定度为15%,控制后一级衍射光光强稳定度达0.2‰。 It is important to control the laser power for laser manufacturing technique. Here we describes the applicatlon of acoustooptlc modulator to control the laser power in Laser Dlrect Writting Systern (LDWS) and analyses the structure parameters and c0rresponding control circuits for the modulator used in the system. The a coustooptic modulation system whlch was designed according to the control theory and the modulator parameters has good results in stabilizing the output power. The ratio of the He-Cd laser output nolse to total output power is 15% before controlling. The first order diffraction light power is stabllized to the degree of 0. 2%, by the acoustooptic device.
出处 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第2期145-147,159,共4页 Chinese Journal of Scientific Instrument
关键词 激光加工 激光直写系统 光功率稳定控制 Laser radiation manipulating Acoustooptic device
  • 相关文献

参考文献5

  • 1周光亚,侯西云,许乔,叶钧.极坐标激光直接写入系统研究[J].仪器仪表学报,1996,17(S1):327-329. 被引量:3
  • 2周光亚,仪器仪表学报,1996年,17卷,1期,327页
  • 3金以慧,过程控制,1993年
  • 4I L Lhang,IEEE Trans Sonics Ultrasonics,1976年,23卷,2页
  • 5Dan Maydan,IEEE J Quant Electron,1970年,6卷,15页

共引文献2

同被引文献64

引证文献7

二级引证文献34

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