摘要
在相移剪切干涉图一维数据处理的基础上，提出了一种干涉图的二维数据处理方法，经实验验证，本方法处理后可以清楚地看出整个被测波面的面形误差，精度达到了００９６μｍ，且具有装置简单。
On the basis of one dimension data processing for phase shifting shear interferometer,two dimension data processing is proposed.The experiment results show that the wave surface error of whole surface can be seen clearly,and the precision reaches 0 096 μm. The device is simple and processing speed is faster.
出处
《西安工业学院学报》
1999年第2期109-112,共4页
Journal of Xi'an Institute of Technology
基金
兵器工业"九五"预研项目
