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极高真空溅射离子泵的研制 被引量:1

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摘要 研制出了获得极高真空的溅射离子泵,该溅射离子泵4小时烘共烤后温度降至100℃,装磁钢,妄动离子泵进行敢,34小时后压力达5.8×10^-10Pa。从抽速实验结果来看,该泵在10^10Pa时仍有100L/s的抽速。说明此泵在较 压力下仍有较强的潘宁放电。
作者 吴魁
出处 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1999年第A10期8-11,共4页 Vacuum Science and Technology
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