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极高真空溅射离子泵的研制
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摘要
研制出了获得极高真空的溅射离子泵,该溅射离子泵4小时烘共烤后温度降至100℃,装磁钢,妄动离子泵进行敢,34小时后压力达5.8×10^-10Pa。从抽速实验结果来看,该泵在10^10Pa时仍有100L/s的抽速。说明此泵在较 压力下仍有较强的潘宁放电。
作者
吴魁
机构地区
中国科学院沈阳科学仪器研制中心
出处
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
1999年第A10期8-11,共4页
Vacuum Science and Technology
关键词
极高真空
潘宁放电
抽束曲线
溅射离子泵
分类号
TB752.52 [一般工业技术—真空技术]
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