期刊文献+

CVD金刚石薄膜取向生长研究现状 被引量:3

Orinted Growth of CVD Diamond Film
下载PDF
导出
摘要 单晶衬底上外延生长金刚石薄膜一直是 VCD金刚石技术领域的重要研究方向之一 ,近年来这方面的研究取得了长足的进步。回顾了金刚石取向膜的研究史 ,介绍了提高金刚石膜取向度的方法和目前对金刚石取向膜生长过程、生长机理研究取得的进展及金刚石取向膜具有独特优异性能的实验研究。 Heteroepitaxy growth of diamond films on single crystal substrates is one of the important research directions in the CVD diamond films field. Recently much progress has been made on the subject. In this paper, the history of oriented diamond films research has been recalled, and the methods of improving orientation degree are introduced. New advance in growth process and mechanisms of oriented diamond films is described. It is found that oriented diamond film has unique excellent quality.
出处 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2000年第1期95-97,共3页 Materials Protection
  • 引文网络
  • 相关文献

参考文献15

  • 1佚名.’96中国材料研讨会论文摘要集[M].北京:中国材料研究学会,1996..
  • 2Woo H K,J Appl Phys,1998年,83卷,8期,41页
  • 3Gu Changzhi,Thin Solid Films,1998年,311卷,124页
  • 4Hayshi Y,Appl Phys Lett,1997年,71卷,20期,2913页
  • 5Kim Yoonkee,J Appl Phys,1997年,81卷,8期,3660页
  • 6Zhang W J,J Appl Phys,1997年,82卷,4期,1896页
  • 7’96材料研讨会 功能材料,1997年
  • 8佚名,’96中国材料研讨会论文摘要集,1996年
  • 9Chen Q,Appl Phys Lett,1995年,67卷,13期
  • 10Jia C L,Phys Rev.B,1995年,52卷,7期,51页

同被引文献15

引证文献3

二级引证文献2

相关主题

;
使用帮助 返回顶部