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国外电子气体技术进展 被引量:13

Technological progress of electronic gases overseas
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摘要 论述了集成电路技术的发展对电子气体质量提出的更为刻苛的要求。介绍了一些相关新设备、新仪器以及新品种电子气体的应用。 The strict demands for the electronic gases quality due to IC technological developments are presented. Some of the relative new equipment, new instruments and applications for some new electronic gases are introduced.
出处 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第2期25-28,共4页 Semiconductor Technology
关键词 电子气体 集成电路 气体分析仪 粒子计数 electronic gases integrated circuit analytical instruments of gases particle account
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