摘要
论述了集成电路技术的发展对电子气体质量提出的更为刻苛的要求。介绍了一些相关新设备、新仪器以及新品种电子气体的应用。
The strict demands for the electronic gases quality due to IC technological developments are presented. Some of the relative new equipment, new instruments and applications for some new electronic gases are introduced.
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第2期25-28,共4页
Semiconductor Technology
关键词
电子气体
集成电路
气体分析仪
粒子计数
electronic gases
integrated circuit
analytical instruments of gases
particle account