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表面粗糙度、表面微观轮廓及微位移激光测量集成化方法的研究 被引量:7

Research on Electro-optical Integration of Measuring Surface Roughness,Surface Micro profile and Micro displacement by Laser
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摘要 通过研究激光散射法测量表面粗糙度、三角法测量微位移、干涉法测量表面微观轮廓三种几何量测量技术的共性 ,设计新型光路 ,将三种光电测量技术集成为一个测量仪 ,使其成为采用同一光源、基本同一光路、同一光敏接收器的新型光电精密测量仪器 ,而同时具有三种测量功能 . Through the study of the surface roughness measurement by laser diffusion method,micro displacement measurement by optical triangle method and surface micro profile measurement by interference method, a new type of electro optical measuring instrument is designed. The three techniques are integrated into this instrument.It has the same light source,generally the same optical path and the same electro optical receiver and has the three functions simultaneously.
出处 《四川大学学报(工程科学版)》 EI CAS CSCD 2000年第6期78-81,共4页 Journal of Sichuan University (Engineering Science Edition)
基金 国家自然科学基金资助项目! (5 95 70 5 8)
关键词 表面微观轮廓 激光测量 表面粗糙度 激光散射法 微位移 集成化方法 surface micro profile optical measurement surface roughness Laser diffusion method
  • 引文网络
  • 相关文献

参考文献4

  • 1王世华,周肇飞,周卫东,迟桂纯.激光表面粗糙度测量仪的研制[J].成都科技大学学报,1995(3):62-66. 被引量:7
  • 2唐朝伟,激光杂志,1993年,14卷,1期,30页
  • 3唐文孝,仪器仪表学报,1993年,14卷,4期,381页
  • 4王信华,国外计量,1992年,2期,23页

二级参考文献4

共引文献6

同被引文献24

引证文献7

二级引证文献20

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