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二元光学元件激光直写设备主轴速度调节的一种新方法 被引量:2

A New Method for Adjusting Spindle Velocity of Binary Optical Element Laser Direct-Writing Device
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摘要 介绍了二元光学元件激光直写设备的精密伺服控制系统 ,分析了主轴伺服系统的结构与控制系统的性能要求。在二元光学元件激光直写设备中 ,主轴速度调节效果的好坏是决定刻划效率与精度的关键因素之一。本文提出了利用离焦信号的特点 ,判断出离焦信号的极值点 ,并计算相邻极值点之间的时间间隔 ,最终估算出离焦信号频带 ,并依据离焦信号的频带自动调节主轴速度的新方法。采用此方法可极大地提高刻划效率。 A precision servo control system for Binary Optical Element (BOE) laser direct-writing device is introduced. The structure of the spindle servo system and the performance requirements of the control system are analyzed. In the BOE laser direct-writing device, the adjusting effect of spindle velocity is one of the key factors for determining the lithography effectiveness and accuracy. A new method for automatically adjusting the spindle velocity is proposed in the paper. The method juges the extreme point of out-of-focus signal and calculates the time intervals between the adjacent extreme points by means of the characteristics of out-of-focus signal, and finally estimates the band of the out-of-focus signal. The lithography effectiveness can be obviously improved with this method.
出处 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2001年第2期4-6,18,共4页 Opto-Electronic Engineering
基金 中国科学院重大设备改造项目
关键词 二元光学元件 激光直写设备 主轴伺服控制 速度控制 自适应控制 Binary optics Laser direct writing Spindle servo systems Velocity control Adaptive control
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  • 相关文献

参考文献5

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  • 2吴一辉.纳米分辨率压电式定位系统的研究.中国科学院长春光学精密机械研究所博士论文[M].,1996..
  • 3刘玉章,凌砚,张原.光盘刻槽机伺服控制系统的研究[J].光学机械,1990(5):65-72. 被引量:3
  • 4曲家骐,伺服控制系统中的传感器,1999年
  • 5吴一辉,博士学位论文,1996年

共引文献7

同被引文献8

引证文献2

二级引证文献4

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