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电子化工材料大类品种的国内外进展及展望
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摘要
在电子工业用新材料中、化工材料占有很重要的地位。如机电工业部“七·五”电子新材料规划中共提出320项关键材料,其中化工材料为123项、占40%。电子化工材料的发展已成为电子工业发展的重要支撑条件。一、电子化工材料大类品种的国内外进展电子化工材料一般指半导体行业。
作者
刘锡洹
机构地区
无锡化工研究设计院情报室
出处
《化工新型材料》
CAS
CSCD
北大核心
1991年第7期8-12,共5页
New Chemical Materials
关键词
电子工业
化工材料
品种
光刻胶
分类号
TN04 [电子电信—物理电子学]
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