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大规模半导体器件厂房通风空调节能分析 被引量:1

Ventilation and air conditioning energy analysis of a large-scale integrated circuit workshop
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摘要 分析了大规模半导体器件生产厂房通风空调系统的特点 ,并以某工程为例 ,说明该类厂房能耗大的现状 ,从设计计算和运行管理的角度分析了造成这一不合理现状的原因 ,指出该类厂房应采用变频技术 ,按照生产和非生产工况 ,对送风量、排风量和新风量进行调节、控制 ,达到节能的目的。 Analyses the characteristic of the ventilating and air conditioning system. Illustrates from aspects of design and operation that the energy consumed in this kind workshop is higher with an example project. Points out that the frequency control technology should be employed to regulate the volume of supply air, exhaust air and fresh air for higher energy effciency.
作者 罗远桂
出处 《暖通空调》 北大核心 2001年第6期83-85,共3页 Heating Ventilating & Air Conditioning
关键词 半导体器件厂房 洁净室 通风 空调 节能 变频调速 integrated circuit workshop, clean room, ventilation, air conditioning, energy conservation, frequency control
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参考文献3

共引文献1

同被引文献9

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