Gigaphoton首次将新型准分子激光器引入FPD业界

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摘要日本Gigaphoton公司开发出了用于制造平板显示器（FPD）的极小激光退火工序用准分子激光器“GIGANEX”系列，并将其配备在日本V-Technology公司的极小激光退火装置上，供大尺寸液晶屏制造企业用于LTPS（低温多晶硅）TFT（薄膜晶体管）液晶面板制造。

作者佳工

出处《军民两用技术与产品》 2016年第13期34-34,共1页 Dual Use Technologies & Products

关键词准分子激光器 FPD 制造企业平板显示器薄膜晶体管低温多晶硅激光退火退火装置

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军民两用技术与产品

2016年第13期

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