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衍射光学器件的激光辅助制造 被引量:1

Laser aided fabrication of diffractive optical element
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摘要 衍射光学器件 DOE是基于衍射光学原理制成的微光学器件。采用类似于微电子加工手段的激光辅助制造技术——激光直写技术 ,可以制作具有高衍射效率的 DOE。激光直写系统的性能 ,比如光强控制、坐标定位以及自动对焦等 ,直接影响制成器件的衍射效率。 Diffractive optical element(DOE)is a diffractive optics based microoptical element.DOE with high diffractive efficiency can be fabricated by laser aided fabrication technology LDWS(laser direct writing system),similar to the way manufacturing micro electronics.The performance of LDWS,such as intensity control,coordinates orientation and auto focusing,directly affects the diffractive efficiency of fabricated element.Last analyse the key technology fabricating curve surface DOE by laser aided fabrication.
出处 《光学仪器》 2002年第4期86-90,共5页 Optical Instruments
关键词 衍射光学器件 激光直写系统 衍射效率 光强控制 坐标定位 自动对焦 DOE LDWS diffractive efficiency intensity control coordinates orientation automatic focusing
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  • 相关文献

参考文献2

  • 1Swanson.Binary optics technology:the theory and design of multi-level diffractiveoptical element[J].Technical Report.1989,(854):1.
  • 2J A Cox et al.Diffraction efficiency of binary optical elements[J].SPIE.1990,1211:116~124.

同被引文献7

引证文献1

二级引证文献6

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