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MBR膜处理半导体行业废水的工程实践
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摘要
采用MBR回收半导体厂排放的DWWA、DOWW,运行结果表明,MBR产水TOC小于4mg/L,浊度小于0.1mg/L,满足回收要求。每日产水量约1800m^3。整套系统运行成本较低,约3.8 RMB/m^3,接近自来水价格。在两年的运行过程中,MBR膜清洗频率较低,约每月一次NaClO清洗,每两年进行一次柠檬酸清洗。
作者
宋智云
王敏
黄攀峰
机构地区
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
出处
《科学技术创新》
2019年第8期53-54,共2页
Scientific and Technological Innovation
关键词
MBR膜
生化处理法
水回收
分类号
X703 [环境科学与工程—环境工程]
X76 [环境科学与工程—环境工程]
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