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双频激光干涉在数控机床定位误差补偿系统中的应用 被引量:7

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摘要 本文阐述了双频激光干涉仪的测量原理、精度和测量方法 ,并在计算机控制的误差补偿系统中 ,应用双频激光干涉仪对数控机床的定位误差进行补偿 ,实验结果表明
出处 《机床与液压》 北大核心 2003年第3期103-104,共2页 Machine Tool & Hydraulics
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