跟踪机构精度检测的研究

Research of Tracking Machine's Precision

影响激光跟踪干涉测量系统精度的关键部位是它的跟踪转镜机构 ,入射光在跟踪转镜上的入射位置偏离旋转中心 ,对测量精度影响很大 ,而且只能人工调整激光入射在跟踪转镜上的位置。本文从入射光和反射光出发 ,提出的检测方法对这一个问题的解决有一定的指导作用。