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聚焦离子束

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作者 Orloff,J 黄炜
出处 《科学（中文版）》 1992年第2期51-57,共7页 Scientific American
关键词 聚焦离子束 集成电路 修理 IC
分类号 TN607 [电子电信—电路与系统]
  • 相关文献
科学（中文版）
1992年 第2期

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