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金刚石薄膜应用技术新进展 被引量:2

THE NEW DEVELOPMENT OF DIAMOND FILM APPLICATION TECHNOLOGY
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摘要 本文介绍了第一届国际金刚石薄膜应用会议上有关制备技术的最新发展,讨论了目前金刚石薄膜的应用方向、存在的问题,以及要进入市场所必须解决的关键技术。 The latest developments of diamond film fabrication technology in the first international conference on diamond film applications is presented. The current trends and problems to be solved for diamond film application and the key technologies for the eommercial production are also discussed.
出处 《微细加工技术》 1992年第1期51-58,共8页 Microfabrication Technology
关键词 金刚石 薄膜 应用 技术 Diamond Film growth
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  • 相关文献

同被引文献2

  • 1Zhu W,J Material Res,1989年,4卷,3期,659页
  • 2唐华生,机械工程材料,1991年,3卷,68页

引证文献2

二级引证文献5

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