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我国实现8英寸硅单晶抛光片规模生产

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摘要由北京有色金属研究总院承担的“直径200mm(8英寸)硅单晶抛光片高技术产业化示范工程”

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出处《世界制造技术与装备市场》 2004年第1期30-30,共1页 World Manufacturing Engineering & Market

关键词硅单晶抛光片高技术产业化规模生产半导体中国

分类号 F426.6 [经济管理—产业经济]

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