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薄膜斜生长的微观模型和理论计算 被引量:1

THE PHYSICAL MODEL AND THEORETICAL CALCULATIONS OF OBLIQUE GROWTH IN FILMS
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摘要 提出一种几何屏蔽的物理模型,用平均的方法定量计算了气相沉积薄膜中柱状结构的斜生长方向,并且用此模型对Thornton的结构区域图中1区和T区的形成进行了半定量的解释。 A physical model of oblique growth is established in the case of films deposited under the condition of low mobility. The mean orientation direction of the columnar is calculated and a semi-quantitative explanation of the formation condition of Zone 1 and Zone T in Thornton's SZM is given by means of calculations with this model.
出处 《真空科学与技术》 CSCD 1992年第5期371-378,共8页 Vacuum Science and Technology
基金 国家自然科学基金资助 (NsPC.9587007)
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引证文献1

二级引证文献3

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