声表器件压电单晶基片表面损伤的电子显微研究
被引量：3
Study on surface damage in single crystal wafers of SAW device by electron microscope
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2005年第4期353-353,共1页
Journal of Chinese Electron Microscopy Society
同被引文献13
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二级引证文献5
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