电感耦合氩等离体(ICAP)中电子密度及电子温度的测量

电子密度(n_e)和电子温度(T_e)是描述ICP放电特性的两个十分重要的参数。目前国内有关ICP机理方面的研究很少有报道,为了对国内在这方面的工作有所促进,木文就ICP中n_e和T_e的测定从理论上进行了探讨,并根据有关文献所提供的有限数据经理沦计算,分别将与n_e,和T_e,计算有关的两个参数C(n_e、T)和a_(1/2)进行了扩展并编制成表。作者基于ICP—AES的实际测量条件,在不同的等离子体操作参数下测量了H_(β)486．133nm stark变宽,并计算了3%HNO_3水溶液引入ICP轴向的n_e和T_e值,其实验结果与文献推荐值吻合—致。