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陶瓷薄膜的Sol-Gel法制备 被引量:12

PREPARATION OF CERAMIC THIN FILMS BY SOL-GEL PROCESS
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摘要 本文从凝胶制备途径,即无机途径和有机途径角度,阐述了各途径溶胶-凝胶化过程的特点以及凝胶膜向陶瓷薄膜转化的过程。 The characteristics of the gelation of various sols,the formation process of gel and ceramic thin films and its controls and application have been elaborated under two broad classifications,namely,inorganic and organic based sols in this paper.
出处 《中国陶瓷》 CAS CSCD 北大核心 1999年第1期1-4,共4页 China Ceramics
关键词 陶瓷薄膜 溶胶-凝胶法 制备 PVD CVD Ceramic thin film Sol-gel method
  • 相关文献

参考文献3

  • 1Yan S,Ind Eng Chem Res,1994年,33卷,2096页
  • 2杨帮朝,电子元件与材料,1994年,13卷,1期
  • 3张志波,无机材料学报,1993年,8卷,367页

同被引文献194

引证文献12

二级引证文献70

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