摘要
在 6.7<λ<1 0 .0 nm波段选择 Mo/ B4 C作为多层膜材料 ,并采用磁控溅射法制备出多层膜样品 .这些多层膜样品的周期结构为 3 .3 5 nm~ 5 .5 2 nm.采用 X射线衍射仪和透射电镜 (TEM)对样品的微观结构进行研究 .结构表明 ,这些多层膜样品的结构质量很高 ,并有很好的热稳定性 .
The Mo/B 4C multilayer system is selected for 6.7<λ<10.0nm X rays.Mo/B 4C multilayers are deposited by magnetron sputtering.The period thicknesses of these samples are from 3.35nm~ 5.52nm.Details in the microstructure of Mo/B 4C multilayer samples are revealed using X ray diffraction and TEM.The results show that these multilayer mirrors have high structural quality and thermal stability.
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
2000年第5期459-461,共3页
Acta Photonica Sinica
基金
国家自然科学基金
863资助项目&&