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蒸镀式有机物真空镀膜机工作原理及常见故障分析

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摘要 真空镀膜设备是电子行业、半导体行业、光学、太阳能薄膜及玻璃等行业生产和研制过程中广泛使用的设备,随着这些行业的快速发展,市场对镀膜设备性能的要求越来越高。本文对蒸镀式真空镀膜机的工作原理进行详细的介绍,并对常见镀膜设备出现的故障进行深入分析。
出处 《中国水运(下半月)》 2020年第3期100-101,共2页
基金 上海市宝山科委科技创新产学研项目:基于大数据的智能型镀膜机开发(17-C-17)
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