期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
蒸镀式有机物真空镀膜机工作原理及常见故障分析
下载PDF
职称材料
导出
摘要
真空镀膜设备是电子行业、半导体行业、光学、太阳能薄膜及玻璃等行业生产和研制过程中广泛使用的设备,随着这些行业的快速发展,市场对镀膜设备性能的要求越来越高。本文对蒸镀式真空镀膜机的工作原理进行详细的介绍,并对常见镀膜设备出现的故障进行深入分析。
作者
汪雷雷
仲梁维
戴秀海
机构地区
上海理工大学
光驰科技(上海)有限公司
出处
《中国水运(下半月)》
2020年第3期100-101,共2页
基金
上海市宝山科委科技创新产学研项目:基于大数据的智能型镀膜机开发(17-C-17)
关键词
真空镀膜
故障
工作原理
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
引文网络
相关文献
节点文献
二级参考文献
0
参考文献
2
共引文献
5
同被引文献
0
引证文献
0
二级引证文献
0
参考文献
2
1
刘保锐,张明,翟鹏飞,王晓光,武志.
真空镀膜生产中常见问题及解决方法[J]
.电镀与精饰,2015,37(10):32-34.
被引量:1
2
郭凯敏.
真空镀膜机的原理及维护[J]
.阴山学刊(自然科学版),2007,21(4):44-46.
被引量:6
共引文献
5
1
肖成珍,刘培先.
浅析镀膜机结构原理及检漏技巧[J]
.太阳能,2012(11):34-36.
2
邸英浩,胡晓锋,李红娟.
浅析真空镀膜技术的现状及进展[J]
.科技风,2014(8):272-272.
被引量:6
3
刘嘉滨,沈学浩,王晓玲.
真空镀膜机控制系统的温控改造[J]
.实验室研究与探索,2014,33(12):49-53.
被引量:2
4
刘飞,朱玉华,张盼科,丁璇,庞洁,丁寅.
大型仪器真空系统的管理和实验室安全[J]
.实验室科学,2022,25(1):183-185.
被引量:2
5
余键.
基于PLC的真空镀膜装置控制系统设计[J]
.机械工程与自动化,2022(6):176-177.
被引量:2
1
张百勇,王滕,柴立涛,李超.
带钢表面气相沉积技术的应用研究[J]
.冶金信息导刊,2020,57(3):7-10.
2
王媛,崔艳,吴以治.
Ag@CH3NH3PbI3等离激元效应增强钙钛矿太阳能电池性能的数值研究[J]
.人工晶体学报,2019,48(11):2075-2079.
被引量:2
3
董闻.
千亿三安缘何身陷ESG最差评级?[J]
.董事会,2020(6):58-62.
被引量:1
4
武威,李辰琦,高雪松,高宇迪.
铜铟镓硒光伏建筑一体化创新设计研究——广东惠州潼湖科技小镇起步区光伏示范建筑[J]
.建筑学报,2019(S02):100-104.
被引量:4
5
杨明军,牛连斌,陈丽佳,张勇,关云霞,陈平.
导电聚合物作为连接层的叠层电致发光器件[J]
.中国科学:物理学、力学、天文学,2020,50(7):47-53.
被引量:2
6
王珏敏,杨超普,阳帆.
非视觉照度传感器的设计与分析[J]
.光学技术,2020,46(3):295-300.
7
曹丽娟,江从彪,罗宇,李妙姿,黎佳立,寸阳珂,王坚,彭俊彪,曹镛.
低启亮电压全溶液加工量子点发光器件[J]
.液晶与显示,2020,35(8):785-794.
被引量:5
8
张宇龙,张维佳,马强,蒋昭毅,鲁超群,倪聪.
铜铟镓铝硒(Cu(InGaAl)Se2)薄膜制备及其光学性能[J]
.稀有金属材料与工程,2020,49(6):2104-2108.
被引量:1
9
陈琦.
聚焦汽车、5G及数据中心等应用:Nexperia深挖氮化镓技术的“潜能”[J]
.汽车与配件,2020(13):64-65.
10
张志群,任瑞.
溅射镀膜技术与运用浅谈[J]
.装备维修技术,2020(5):267-267.
中国水运(下半月)
2020年 第3期
职称评审材料打包下载
相关作者
内容加载中请稍等...
相关机构
内容加载中请稍等...
相关主题
内容加载中请稍等...
浏览历史
内容加载中请稍等...
;
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部