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蒸镀式有机物真空镀膜机工作原理及常见故障分析
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摘要
真空镀膜设备是电子行业、半导体行业、光学、太阳能薄膜及玻璃等行业生产和研制过程中广泛使用的设备,随着这些行业的快速发展,市场对镀膜设备性能的要求越来越高。本文对蒸镀式真空镀膜机的工作原理进行详细的介绍,并对常见镀膜设备出现的故障进行深入分析。
作者
汪雷雷
仲梁维
戴秀海
机构地区
上海理工大学
光驰科技(上海)有限公司
出处
《中国水运(下半月)》
2020年第3期100-101,共2页
基金
上海市宝山科委科技创新产学研项目:基于大数据的智能型镀膜机开发(17-C-17)
关键词
真空镀膜
故障
工作原理
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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中国水运(下半月)
2020年 第3期
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