平板显示行业TFT自动光学检测技术研究

平板显示行业逐渐朝FHD及更高分辨率方向发展,对检测要求越来越高,精度从10微米到1微米,检测速度与效率要求也在提高,检测项目从简单走向复杂、从单项走向多项综合。自动光学检测是平板显示行业TFT中一种重要检测技术,贯穿于整个TFT工序流程中。自动光学检测最大的优点是提高生产效率,标准统一,保证检测结果精确性和可重复性,及时发现产品不良,确保产品质量。本文首先介绍自动光学检测原理与构成,然后展望未来自动光学检测发展方向及开发重点。