摘要
集成电路技术具有多学科交叉、高技术密集的特点,其技术迭代与物理、化学、电子、材料、数学、计算机、系统控制等学科领域的发展息息相关。集成电路产业作为信息技术产业的基石,其发展关系着经济安全、信息安全乃至国防安全,是国际争最激烈、技术壁垒最严重的产业之一。随着电路集成度不断提升而发展,遵循着摩尔定律,在单位面积硅片上实现了更高性能和更低功耗。随着摩尔定律放缓,以极紫外线式为代表的更为复杂的先进工艺制程使得研发成本增加,芯片单价提升,产业发展面临巨大挑战。
出处
《微纳电子与智能制造》
2022年第2期2-2,共1页
Micro/nano Electronics and Intelligent Manufacturing