精密转台径向跳动快速检测与误差分离

针对精密转台径向跳动误差的检测与分离,为更加快速、更加准确地检出精密转台在径向平面内跳动误差,在反向法基础上提出了一种单探头三点两次转位径向跳动检测与误差分离方法。该方法需要采集0°、90°和180°三个位置的转台跳动误差数据,并通过傅立叶最小二乘拟合技术进行误差分离,可得到精密转台在径向平面内的跳动误差。仿真结果表明:该方法可以分离随机误差。实验结果表明:该方法检测并分离出的径向平面内的跳动误差为98nm,比一次反向法检测结果56 nm更接近真实值。该方法需在检测系统稳定后进行,可进一步降低系统误差的影响。