锍盐、抗蚀剂组合物和图案化方法

本发明为锍盐、抗蚀剂组合物和图案化方法。在使用特定结构的锍盐作为PAG时,抑制了酸扩散。在通过光刻法加工时,包括所述锍盐的抗蚀剂组合物形成具有改进的光刻性质(包括EL、MEF和LWR)的图案。