双层式金属光栅结构的反射特性研究

构建了双层式金属光栅结构,利用时域有限差分法对亚波长金属光栅的反射特性进行模拟与分析。首先优化光栅结构的尺寸、入射角参数,得到最优参数后确定结构,然后分析不同表层覆盖物(折射率不同)对金属光栅反射特性的影响,研究结果为金属光栅结构在传感测量领域的应用打下理论基础。