激光干涉仪光路快速调节方法分析

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摘要激光干涉仪是一种以激光波长为标准对被测长度进行度量的仪器,广泛应用于大尺寸机件的精密测量领域,例如线性传动结构的定位精度、重复精度等测量.但是激光干涉仪使用前的调光过程颇为繁琐.本文在空间坐标系中建立了激光干涉仪光路的数学模型,通过分析不同调节量对光路的影响,找到了一种有效的快速调节方法,解决了由于操作人员经验欠缺而造成的效率损失.

作者龚婷刘思仁

机构地区上海飞机制造有限公司

出处《军民两用技术与产品》 2018年第16期79-79,122,共2页 Dual Use Technologies & Products

关键词激光干涉仪光路调节

分类号 G6 [文化科学—教育学]

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